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질문 MFC 이용한 가스센서 측정 관련 질문입니다
알이석윤(대학원생)  | 09.27 10:32

MFC를 이용해 가스센서의 성능을 측정하고 있는데, 센서의 반응속도가 레퍼런스 논문에서 나온 것보다 훨씬 깁니다.

 

현재 총 유량을 25 sccm으로 놓고 측정을 진행하고 있는데, sccm이 센서의 응답/회복시간에 영향을 많이 주는 편인가요?

#MFC
 
#SCCM
 
#gas sensor
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